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《低电压扫描电镜应用技术研究》系统阐述了低电压扫描电镜面临的主要挑战及其在无机纳米材料领域的应用。《低电压扫描电镜应用技术研究》共分5章，内容包括低电压扫描电镜的原理、荷电现象及其解决方案、低电压扫描电镜的技术突破、低电压能谱以及背散射电子衍射技术在无机材料领域的应用等。《低电压扫描电镜应用技术研究》突出了扫描电镜发展的三个趋势：①揭示更细小、更真实的显微结构；②获得更细微的材料元素分布；③更多地了解材料的晶体学信息与其显微结构对应关系。

第1章  概述

1.1 扫描电镜简介

1.1.1 扫描电镜特点

1.1.2扫描电镜的发展简史

1.2 扫描电镜的原理

1.3扫描电镜的分辨率

1.3.1 分辨率简介

1.3.2影响分辨率的因素

1.3.3 分辨率测量

1.4 扫描电镜图像衬度

第2章  扫描电镜的荷电及解决方案

2.1荷电现象

2.2荷电机理

2.3荷电的解决方案

2.3.1镀膜

2.3.2采用低加速电压进行观察

2.3.3 采用下探测器进行观察

2.3.4采用背散射电子像来进行观察

2.3.5 采用快速扫描方式采集图像

2.3.6采用高加速电压击穿材料来减少荷电

第3章  低电压扫描电镜的技术突破及应用分析

3.1 低电压扫描电镜存在的问题

3.2 低电压扫描电镜电子枪类型

3.3低电压扫描电镜的重要突破

3.4低电压扫描电镜的技术发展

3.4.1减速模式

3.4.2探测器

3.4.3带像差校正的扫描电镜

3.4.4带单色器的超高分辨率扫描电镜

3.5 低电压扫描电镜的应用

3.5.1在热敏感材料中的应用

3.5.2 石墨烯的表征

3.5.3纳米TiO2

3.5.4Ag/PVA纤维

3.5.5 在离子表面改性研究中的应用

3.6低电压扫描电镜其他技术应用分析

3.6.1加速电压的影响

3.6.2低电压扫描电镜对介孔材料的表征

第4章  低电压能谱分析

4.1 概述

4.2低电压扫描电镜微区分析特点

4.3 低电压能谱定性、定量分析

4.3.1 能谱面分布

4.3.2纳米镍颗粒的能谱面分布

4.4能谱面分布分辨率同加速电压的关系

4.5真实能谱面分布

4.6 低电压能谱具体应用

4.6.1YAG陶瓷烧结机理研究

4.6.2介孔氧化硅

第5章  背散射电子衍射技术

5.1背散射电子衍射技术概述

5.2 EBSD的主要特点

5.3 EBSD工作原理

5.3.1 菊池带的产生原理

5.3.2晶面

5.3.3 晶带轴

5.3.4欧拉角（Euler angles）

5.3.5 对称性

5.3.6 Hough变换

5.3.7 相机常数

5.4 EBSD可以实现的功能

5.4.1相鉴定

5.4.2取向的测量

5.4.3孪晶晶界分析

5.4.4晶粒形状、尺寸和分布测定

曾毅，中科院硅酸盐研究所研究员，博士学位。现担任硅酸盐所分析测试中心副主任。

韩国Sunmoon University 材料工程系、法国Belfort univeriste de technology 机械工程系、德国Julich研究中心访问学者。

曾编著《扫描电镜和电子探针的基础及应用》

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1.内容新。本书围绕近年来才出现的低电压扫描电镜展开。目前国内有关著作，对于低电压扫描电镜仅部分章节提及，更缺乏系统的介绍。书中介绍的很多科研成果都处于国内领先水平。

2.书中介绍的内容全。该书内容不仅有原理介绍，还有大量的实际应用案例，对很多电镜与材料工作者的实际工作提供了参考。